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TEM原位解決方案每一個(gè)設(shè)計(jì)作品都精妙

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澤攸科技原位TEM測(cè)量系統(tǒng)推動(dòng)憶阻器機(jī)理可視化

日期:2025-08-27

隨著傳統(tǒng)馮·諾依曼結(jié)構(gòu)逐漸暴露出處理速度和能效的瓶頸,仿生神經(jīng)形態(tài)計(jì)算成為重要的替代路徑。在諸多候選器件中,憶阻器因具備非易失性、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、功耗低和可擴(kuò)展性強(qiáng)等優(yōu)勢(shì),被視為人工突觸的理想實(shí)現(xiàn)方式。尤其是電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RRAM),通過(guò)調(diào)控絕緣層中離子的遷移實(shí)現(xiàn)電阻狀態(tài)的可逆切換,契合了突觸權(quán)重調(diào)節(jié)的特性,因此在神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)和存儲(chǔ)應(yīng)用中展現(xiàn)出巨大潛力。為進(jìn)一步提升憶阻器的均一性與可靠性,研究者提出了通過(guò)自組裝方式構(gòu)建垂直取向納米復(fù)合(VAN)結(jié)構(gòu),使兩相界面自然排列形成垂直導(dǎo)通通道。這一設(shè)計(jì)不僅能提高集成密度和調(diào)控應(yīng)變,還能緩解傳統(tǒng)導(dǎo)電細(xì)絲形成過(guò)程中的隨機(jī)性問(wèn)題,因而被寄予厚望用于高性能神經(jīng)形態(tài)器件的構(gòu)建。

澤攸科技原位TEM

不過(guò)現(xiàn)有研究仍面臨多重挑戰(zhàn)。首先許多報(bào)道的VAN結(jié)構(gòu),其基體材料的氧空位含量有限,導(dǎo)致器件的電阻切換速度和多態(tài)可調(diào)性受限。其次某些體系(如基于鐵電性的BaTiO?體系)中,電阻切換行為往往是鐵電極化與氧空位遷移的共同結(jié)果,使得不同機(jī)制難以區(qū)分,限制了對(duì)垂直界面作用的獨(dú)立研究。盡管推測(cè)氧離子更傾向沿界面遷移,但缺乏直接的原位實(shí)驗(yàn)觀測(cè)證據(jù),現(xiàn)有透射電鏡手段也因氧富集區(qū)與貧化區(qū)的對(duì)比度不足而難以清晰解析這一過(guò)程。因此,如何設(shè)計(jì)具有更強(qiáng)氧離子遷移能力、且能夠通過(guò)原位手段直觀揭示界面離子動(dòng)力學(xué)的材料與結(jié)構(gòu),成為有待解決的核心問(wèn)題。這些瓶頸不僅阻礙了對(duì)VAN憶阻機(jī)理的深入理解,也限制了其在高性能存儲(chǔ)與類腦計(jì)算中的實(shí)際應(yīng)用前景。

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針對(duì)上述問(wèn)題,由南京航空航天大學(xué)、吉林大學(xué)、華東師范大學(xué)、南京大學(xué)、清華大學(xué)以及劍橋大學(xué)等組成的科研團(tuán)隊(duì)利用了澤攸科技原位TEM測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行了系統(tǒng)研究,他們通過(guò)構(gòu)建 SrCoO?.?:MgO 垂直納米復(fù)合結(jié)構(gòu)并結(jié)合原位技術(shù),直接揭示了氧離子沿垂直界面優(yōu)先遷移的動(dòng)力學(xué)機(jī)制,從而闡明了VAN憶阻器電阻切換的本質(zhì)。相關(guān)成果以“In situ observation of oxygen ion dynamics in topological phase change memristors through self-assembled interface design”為題發(fā)表在《Science Advances》期刊上。原文鏈接:https://doi.org/10.1126/sciadv.adw8513

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這篇論文的研究聚焦于解決憶阻器在可靠性與機(jī)理認(rèn)知上的關(guān)鍵難題。研究團(tuán)隊(duì)基于類腦計(jì)算的發(fā)展需求,提出利用自組裝的垂直取向納米復(fù)合(VAN)結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)可控的氧離子遷移通道。他們選擇具有拓?fù)湎嘧兲匦缘淖厣}鈦礦 SrCoO?.?(BM-SCO)與 MgO 復(fù)合生長(zhǎng),形成垂直排列的納米柱狀界面。這樣的設(shè)計(jì)不僅提高了器件的電阻開(kāi)關(guān)性能,也為理解界面主導(dǎo)的離子動(dòng)力學(xué)提供了理想平臺(tái)。通過(guò)這一結(jié)構(gòu),研究者展示了器件在存儲(chǔ)與類突觸功能上的優(yōu)越表現(xiàn),為實(shí)現(xiàn)高效的神經(jīng)形態(tài)計(jì)算硬件奠定了基礎(chǔ)。

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圖1. 薄膜的結(jié)構(gòu)表征。(A)在LSMO緩沖的STO(001)襯底上生長(zhǎng)的BM-SCO和S50M50薄膜的XRD θ-2θ圖譜。a.u.,任意單位。(B)沿[010]晶帶軸投影的S50M50 VAN薄膜的橫截面STEM圖像。(C)沿(B)中紅線提取的S50M50界面的EDS信號(hào)強(qiáng)度分布。S50M50 VAN薄膜中單個(gè)MgO納米柱的橫截面HAADF-STEM(D)和相應(yīng)的ABF-STEM(E)圖像。(D)中氧四面體層內(nèi)的面內(nèi)取向氧空位通道用綠色箭頭標(biāo)記。(E)中的插圖是VAN中BM-SCO的FFT圖譜,其中超晶格信號(hào)用黃色圓圈標(biāo)記。(F)BM-SCO:MgO薄膜在垂直界面處的晶體學(xué)模型。

在實(shí)驗(yàn)結(jié)果中,BM-SCO:MgO VAN 結(jié)構(gòu)器件表現(xiàn)出比單相 BM-SCO 更優(yōu)的性能,包括免電成型操作、更高的電阻開(kāi)關(guān)比、更強(qiáng)的循環(huán)穩(wěn)定性和更好的一致性。這些性能上的優(yōu)勢(shì)使得器件能夠模擬生物突觸中的短期和長(zhǎng)期可塑性,并在神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)圖像識(shí)別中取得接近理想系統(tǒng)的高精度結(jié)果。這不僅凸顯了該結(jié)構(gòu)在存算一體化中的應(yīng)用潛力,也證明了自組裝納米結(jié)構(gòu)在提高器件可靠性和功能可控性方面的有效性。

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圖2. 突觸行為模擬。(A)人工突觸的示意圖。(B)S50M50憶阻器在0 V→+1.5 V→0 V正向偏壓和(C)0 V→-1.5 V→0 V反向偏壓下的連續(xù)電壓掃描。(D)S50M50憶阻器的成對(duì)脈沖易化(PPF)和(E)成對(duì)脈沖抑制(PPD)隨脈沖間隔的變化。插圖顯示相應(yīng)的脈沖波形。(F)S50M50憶阻器的長(zhǎng)時(shí)程增強(qiáng)(LTP)和長(zhǎng)時(shí)程抑制(LTD)。插圖顯示施加的寫(xiě)入脈沖。電流隨寫(xiě)入脈沖的幅度(G)、寬度(H)和間隔(I)的變化。

在機(jī)理研究方面,團(tuán)隊(duì)重點(diǎn)關(guān)注氧離子在電阻切換過(guò)程中的遷移路徑。通過(guò)原位掃描透射電鏡(STEM)實(shí)驗(yàn),他們直接觀察到在外加電場(chǎng)作用下,BM-SCO 在垂直界面區(qū)域發(fā)生相變,由絕緣的棕色鈣鈦礦相轉(zhuǎn)變?yōu)閷?dǎo)電的鈣鈦礦 SrCoO??δ。這一過(guò)程清晰地反映了氧離子沿界面優(yōu)先遷移的動(dòng)力學(xué)特征,為理解VAN憶阻器的電阻調(diào)控機(jī)制提供了首個(gè)直接實(shí)驗(yàn)證據(jù)。這一突破性的發(fā)現(xiàn),解決了長(zhǎng)期以來(lái)依賴推測(cè)的局限,使得對(duì)器件機(jī)理的認(rèn)知達(dá)到了原子尺度的精確度。

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圖3. 神經(jīng)形態(tài)計(jì)算。(A)基于卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)(CNN)的交通標(biāo)志識(shí)別示意圖。(B)基于憶阻器交叉陣列模擬神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的電路圖。(C)經(jīng)過(guò)噪聲、旋轉(zhuǎn)和亮度調(diào)整增強(qiáng)后的數(shù)據(jù)集。(D)識(shí)別準(zhǔn)確率隨迭代次數(shù)的變化。(E)損失值隨迭代次數(shù)的變化。(F)三種訓(xùn)練方法下準(zhǔn)確率的比較。

在這一研究中,澤攸科技的原位TEM測(cè)量系統(tǒng)發(fā)揮了至關(guān)重要的作用。該產(chǎn)品配備了精密的電學(xué)偏壓系統(tǒng)和高穩(wěn)定性的鎢探針,可以在透射電鏡環(huán)境下實(shí)時(shí)施加電信號(hào),并與樣品的頂電極保持良好接觸。憑借這種裝置,研究人員能夠在施加外電場(chǎng)的同時(shí),以原子分辨率觀察到氧離子的遷移和局部結(jié)構(gòu)的相變過(guò)程。這種“電學(xué)刺激與結(jié)構(gòu)觀測(cè)同步進(jìn)行”的方式,使得電阻切換的本質(zhì)過(guò)程得以被直接捕捉和驗(yàn)證。正是依托于澤攸科技原位TEM測(cè)量系統(tǒng)的高穩(wěn)定性和可控性,研究團(tuán)隊(duì)才得以突破成像與操作的技術(shù)瓶頸,將實(shí)驗(yàn)推進(jìn)到對(duì)憶阻機(jī)理的直接可視化階段。

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圖4. 原位掃描透射電子顯微鏡(STEM)及機(jī)理分析。(A)和(C)為S50M50憶阻器在高阻態(tài)(HRS)和低阻態(tài)(LRS)下的高角環(huán)形暗場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡(HAADF-STEM)圖像,(B)和(D)為相應(yīng)的環(huán)形明場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡(ABF-STEM)圖像。圖像(A)和(C)中疊加的結(jié)構(gòu)模型展示了對(duì)比度的對(duì)應(yīng)關(guān)系。(D)中的綠色箭頭指示氧四面體層。(E)施加電壓過(guò)程中電流與電壓、電流與時(shí)間的關(guān)系。(F)(C)中虛線區(qū)域的快速傅里葉變換(FFT)圖譜。(G)低阻態(tài)下垂直界面區(qū)域和非垂直界面區(qū)域的鈷L邊電子能量損失譜(EELS)對(duì)比。(H)BM-SCO:MgO憶阻器在0 V(左)和+5 V(右)下的COMSOL電場(chǎng)模擬。(I)BM-SCO:MgO憶阻器高阻態(tài)和低阻態(tài)的示意圖,其中SCO的八面體層和四面體層分別以玫瑰紅和淺藍(lán)色顯示,青色柱體代表氧化鎂(MgO)。

這篇論文的核心貢獻(xiàn)不僅在于設(shè)計(jì)出高性能的 VAN 結(jié)構(gòu)憶阻器,還在于利用先進(jìn)的原位表征手段直觀揭示了氧離子遷移與相變的過(guò)程。通過(guò)澤攸科技原位TEM測(cè)量系統(tǒng)的應(yīng)用,研究者實(shí)現(xiàn)了電學(xué)性能與結(jié)構(gòu)演變的同步解析,為未來(lái)可控性更強(qiáng)、穩(wěn)定性更高的憶阻器設(shè)計(jì)提供了堅(jiān)實(shí)的實(shí)驗(yàn)依據(jù)。這一工作為類腦計(jì)算器件的進(jìn)一步發(fā)展指明了方向,也展示了高端原位表征技術(shù)在材料研究中的獨(dú)特價(jià)值。


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作者:澤攸科技


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