掃描電鏡（SEM）幾乎所有成像模式都必須在真空環(huán)境下進(jìn)行，只是 真空度要求的高低會(huì)根據(jù)樣品和成像模式而不同。

為什么需要真空

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在大氣環(huán)境中，電子會(huì)與空氣分子頻繁碰撞，導(dǎo)致電子散射和能量損失。

真空環(huán)境減少氣體分子密度，保證電子束穩(wěn)定傳播和聚焦，形成細(xì)小探針點(diǎn)。

探測(cè)信號(hào)的需要

樣品表面發(fā)射出的二次電子、背散射電子等信號(hào)在空氣中傳播距離短。

真空保證這些信號(hào)不被吸收或散射，從而清晰到達(dá)探測(cè)器。

避免放電和污染

高壓加速電場(chǎng)在空氣中容易產(chǎn)生電弧放電，危及電子槍和探測(cè)器。

真空環(huán)境避免水汽、油分子等污染沉積在電子槍和透鏡上，保持成像質(zhì)量。

真空類型

高真空模式：大多數(shù)金屬、半導(dǎo)體樣品使用，分辨率高。

低真空或環(huán)境 SEM 模式：適合含水、非導(dǎo)電或生物樣品，可以在低真空下減少電荷效應(yīng)。