掃描電鏡信號(hào)強(qiáng)度不足通常會(huì)導(dǎo)致圖像暗淡或信噪比低，這會(huì)影響觀察和分析。常見(jiàn)原因包括以下幾類：

加速電壓過(guò)低

電子束能量不足，不能有效激發(fā)樣品發(fā)射二次電子或背散射電子，導(dǎo)致探測(cè)信號(hào)弱。不同材料和厚度的樣品對(duì)電子束的響應(yīng)不同，低電壓下尤其容易信號(hào)不足。

電子束電流太小

電子槍輸出電流過(guò)低會(huì)減少入射電子數(shù)量，從而降低產(chǎn)生的信號(hào)強(qiáng)度。提高電子束電流可以增強(qiáng)信號(hào)，但要注意防止樣品損傷或充電。

樣品導(dǎo)電性差

非導(dǎo)電或?qū)щ娦圆蛔愕臉悠啡菀桩a(chǎn)生電荷積累，形成局部電場(chǎng)干擾電子束，導(dǎo)致二次電子信號(hào)衰減，使圖像暗淡。

探測(cè)器設(shè)置不當(dāng)

探測(cè)器增益或偏壓設(shè)置過(guò)低會(huì)直接影響信號(hào)強(qiáng)度。不同探測(cè)器類型（SE、BSE）對(duì)電壓和位置敏感，調(diào)整不當(dāng)容易導(dǎo)致信號(hào)弱。

真空度不夠

樣品室真空度不足會(huì)導(dǎo)致電子束散射或吸收，使信號(hào)減弱。高真空環(huán)境可以減少電子束與氣體分子的碰撞，提高信號(hào)效率。

樣品污染或表面覆蓋物

表面氧化、碳污染或水分會(huì)吸收電子，降低有效信號(hào)，同時(shí)可能導(dǎo)致圖像模糊或?qū)Ρ榷认陆怠?/span>

樣品厚度或幾何因素

樣品過(guò)厚或幾何結(jié)構(gòu)不利于電子束入射，二次電子被吸收或散射，導(dǎo)致探測(cè)到的信號(hào)減少。

探測(cè)器位置或?qū)?zhǔn)不正確

探測(cè)器離樣品太遠(yuǎn)或者角度不合適，電子收集效率低，信號(hào)強(qiáng)度自然不足。