掃描電鏡拍不清楚，通常與樣品狀態(tài)、成像參數(shù)或儀器狀況有關(guān)。

一、檢查樣品狀態(tài)

樣品不導(dǎo)電。

表面容易積聚電荷，導(dǎo)致圖像模糊。

解決方法：可在樣品表面鍍一層金、鉑或碳，或使用低真空模式觀察非導(dǎo)體樣品。

樣品表面太粗糙或有灰塵。

表面不平整會造成局部失焦。

解決方法：清潔樣品，調(diào)整樣品角度，使表面盡量平整。

樣品裝夾松動或震動。

樣品微小移動會讓圖像抖動、模糊。

解決方法：使用導(dǎo)電膠或銅膠帶固定樣品，確保樣品臺穩(wěn)定，避免外部震動。

二、優(yōu)化成像參數(shù)

焦距不準。

這是最常見原因之一。尤其在高倍率下，應(yīng)仔細微調(diào)焦距和像散校正。

加速電壓不合適。

電壓過高會使電子穿透樣品太深，降低表面分辨率；電壓過低則信號弱、噪聲大。

建議導(dǎo)電樣品使用 5–15 kV，非導(dǎo)電樣品使用 1–5 kV。

工作距離不合適。

工作距離太大，分辨率下降；太小，信號可能不穩(wěn)定。

一般使用 8–12 mm，或按照廠家推薦值。

束流電流不當(dāng)。

電流太大，圖像亮但模糊；太小，圖像暗但清晰。

建議適當(dāng)減小束流電流，必要時增大積分時間。

掃描速度太快。

掃描過快會使噪聲增加，圖像模糊。

可使用慢掃描或多幀平均模式。

三、檢查儀器狀態(tài)

電子槍污染或偏軸。

電子束不穩(wěn)定會導(dǎo)致成像模糊。

應(yīng)聯(lián)系維護人員進行校準或清潔。

真空度不良。

真空不足時，電子束會被氣體散射，降低分辨率。

檢查真空系統(tǒng)是否泄漏或密封圈老化。

探測器接觸不良。

信號不穩(wěn)定會導(dǎo)致圖像對比度低。

檢查探測器與主機連接是否牢固。