在掃描電鏡中，重復觀察同一區(qū)域有助于對比形貌變化、評估束流影響或進行長期實驗，但需要合理的方法來保證位置可重復。

使用低倍定位、高倍觀察

先在低倍率下記錄樣品整體特征或參考標志。

每次重復觀察時，先回到低倍，再逐步放大到目標區(qū)域。

記錄樣品臺坐標

在目標位置記錄 X、Y、Z 及傾角參數(shù)。

下次觀察時直接調(diào)用或手動輸入相同坐標，可快速回到區(qū)域附近。

利用樣品表面特征作參考

選擇明顯的顆粒、孔洞、邊緣或刻線作為定位標志。

比單純依賴坐標更直觀可靠。

保持樣品安裝方式一致

每次裝樣盡量使用相同方向和位置。

避免重新裝夾帶來的角度和高度誤差。

控制工作條件一致

保持相同的工作距離、加速電壓和探測器模式，減少成像差異。