掃描電鏡成像過(guò)程中突然失焦通常不是“鏡頭壞了”，而是和樣品、電荷、真空或機(jī)械因素有關(guān)。主要原因如下：

樣品高度差或表面起伏大，掃描區(qū)域內(nèi)局部離電子束焦點(diǎn)太遠(yuǎn)，突然出現(xiàn)模糊

樣品未導(dǎo)電或局部充電，電子束轟擊時(shí)產(chǎn)生電荷堆積，會(huì)使電子束偏轉(zhuǎn)，瞬間失焦或條紋

樣品松動(dòng)或臺(tái)面振動(dòng)，納米級(jí)位移就能讓焦點(diǎn)偏離，特別是長(zhǎng)時(shí)間掃描

真空波動(dòng)或冷卻系統(tǒng)異常，部分儀器對(duì)壓力和溫度敏感，焦點(diǎn)會(huì)受影響

自動(dòng)聚焦或 stigmator 調(diào)節(jié)失靈，有些 SEM 會(huì)在掃描中自動(dòng)微調(diào)焦點(diǎn)，錯(cuò)誤操作可能導(dǎo)致瞬間失焦

解決方法通常是：保持樣品平整和固定、保證導(dǎo)電性、降低掃描速度或增加景深、手動(dòng)重新調(diào)焦或分區(qū)拍攝。