DMD 無(wú)掩膜光刻機(jī)與傳統(tǒng)光刻機(jī)的核心區(qū)別，在于是否使用實(shí)體掩膜版以及曝光方式不同。不同廠商系統(tǒng)在分辨率、光源波長(zhǎng)、投影倍率和拼接精度等參數(shù)上差異較大，因此應(yīng)用側(cè)重點(diǎn)也不同。

首先是原理差異。DMD 無(wú)掩膜光刻機(jī)采用數(shù)字微鏡器件進(jìn)行圖形調(diào)制，通過(guò)計(jì)算機(jī)直接控制微鏡陣列反射光線，將設(shè)計(jì)圖案實(shí)時(shí)投射到光刻膠上，無(wú)需制作實(shí)體掩膜。傳統(tǒng)光刻機(jī)則依賴石英掩膜版，通過(guò)紫外光源一次性整體曝光圖形。

其次是工藝流程差異。DMD 系統(tǒng)不需要掩膜版制作，設(shè)計(jì)文件可直接導(dǎo)入曝光，適合快速迭代和小批量研發(fā)；傳統(tǒng)光刻在正式生產(chǎn)前必須先制作掩膜版，一旦圖形修改就需要重新制版，周期和成本較高。

在分辨率方面，傳統(tǒng)光刻（尤其深紫外 DUV 或更先進(jìn)系統(tǒng)）在大規(guī)模生產(chǎn)中具有更高分辨率和更好均勻性，適合亞百納米量產(chǎn)；DMD 無(wú)掩膜光刻通常受限于微鏡尺寸和投影光學(xué)系統(tǒng)，分辨率一般在微米級(jí)到亞微米級(jí)，具體取決于光源波長(zhǎng)和縮小倍率。

在成本與靈活性方面，DMD 系統(tǒng)設(shè)備成本和運(yùn)行成本較低，不需要頻繁制作掩膜，非常適合科研、教學(xué)、小批量試產(chǎn)和多版本驗(yàn)證。傳統(tǒng)光刻前期掩膜成本高，但在大規(guī)模量產(chǎn)中單片成本更低，效率更高。

在曝光方式上，DMD 屬于數(shù)字投影式，可分區(qū)動(dòng)態(tài)曝光，也支持灰度曝光（用于三維微結(jié)構(gòu)加工）；傳統(tǒng)光刻多為整版曝光，工藝成熟，穩(wěn)定性高。

應(yīng)用場(chǎng)景上，DMD 無(wú)掩膜光刻常用于微流控芯片、MEMS 原型驗(yàn)證、傳感器開(kāi)發(fā)和實(shí)驗(yàn)室快速加工；傳統(tǒng)光刻則廣泛用于集成電路制造和大規(guī)模半導(dǎo)體生產(chǎn)。