PicoFemto透射電鏡原位MEMS液體電化學(xué)測量系統(tǒng)，采用全新的O圈輔助密封設(shè)計(jì)，更易封裝液體。實(shí)驗(yàn)中，樣品被密封在很薄氮化硅薄膜覆蓋的液體池內(nèi)，池內(nèi)可以承載一個(gè)大氣壓。芯片電極聯(lián)通外接電路，從而在電鏡中搭建一個(gè)液體-電化學(xué)測試環(huán)境。

        性能指標(biāo)：

● 兼容TEM真空度；

● 液體池間隔層厚度最小100 nm；

● 液體池內(nèi)可載入氣體或液體，池內(nèi)可承載1個(gè)大氣壓，池外滿足電鏡真空要求；

● 電壓輸出最大±200 V，最小分辨率±100 nV；

● 電流測量最大±1.5 A，最小分辨率±100 fA；

● 恒壓或者恒流模式。