掃描電鏡拍照模糊不一定只是對焦問題，但對焦不準是最常見原因之一。

如果是整體發(fā)虛、細節(jié)邊緣不清晰，而且在調(diào)焦時清晰度能明顯變化，通常說明對焦還未完全到位，需要在目標倍率下重新精細調(diào)焦。

但有些模糊并不是單純對焦造成的。比如像散未校正，會讓圖像呈現(xiàn)拉絲、發(fā)糊的感覺，即使反復(fù)調(diào)焦也難以真正變清晰；樣品漂移或振動，在掃描過程中位置變化，會導(dǎo)致畫面拖影，看起來像失焦；充電現(xiàn)象也會引起局部模糊和不穩(wěn)定。

另外，工作距離和放大倍率不匹配，或在低倍對焦后直接切換到高倍拍照，也會導(dǎo)致高倍圖像模糊，需要重新調(diào)焦。

因此判斷方法是：在高倍率下緩慢調(diào)焦，如果怎么調(diào)都不清晰，就應(yīng)檢查像散、樣品穩(wěn)定性和充電問題。拍照模糊不一定全是對焦問題，但對焦永遠是第一步要排查的因素。