掃描電鏡下樣品表面起伏很大時(shí)，成像參數(shù)如果不配合，就容易一部分清楚、一部分發(fā)虛或過(guò)曝。調(diào)參的核心思路是增加景深、穩(wěn)定信號(hào)、壓住極端亮暗。

首先從工作距離入手。適當(dāng)加大工作距離可以明顯增加景深，讓高低起伏區(qū)域同時(shí)進(jìn)入可接受的清晰范圍。代價(jià)是分辨率略降，但對(duì)起伏大的樣品往往是值得的。

加速電壓要偏低一些。降低加速電壓可以增強(qiáng)表面敏感度，減少深層信號(hào)干擾，高低起伏的對(duì)比會(huì)更真實(shí)，也不容易出現(xiàn)局部過(guò)亮或發(fā)白。

束流不要太大。束流過(guò)大會(huì)讓凸起區(qū)域信號(hào)過(guò)強(qiáng)、凹陷區(qū)域細(xì)節(jié)被淹沒(méi)。適當(dāng)減小束流，有助于平衡亮暗區(qū)域，細(xì)節(jié)反而更容易看出來(lái)。

對(duì)焦和像散要在“折中位置”調(diào)。不要只對(duì)高點(diǎn)或低點(diǎn)對(duì)焦，而是在整體視覺(jué)均衡的位置調(diào)焦，并認(rèn)真校正像散，這樣整體清晰度最好。

掃描速度和平均方式也要配合。掃描太快時(shí)，起伏邊緣容易噪聲大、細(xì)節(jié)糊?？梢赃m當(dāng)減慢掃描速度或加少量線平均，但不要平均過(guò)多，避免漂移模糊。

探測(cè)器選擇很關(guān)鍵。二次電子探測(cè)器對(duì)起伏和邊緣非常敏感，形貌信息強(qiáng)，但也容易亮度不均；如果亮暗差異太夸張，可以嘗試背散射成像，整體會(huì)更平穩(wěn)一些。

如果樣品允許，適當(dāng)傾斜樣品臺(tái)也能改善觀察角度，讓起伏結(jié)構(gòu)的側(cè)壁信息更容易顯現(xiàn)，但要重新對(duì)焦和校正像散。

總體原則是，用工作距離換景深，用電壓和束流控對(duì)比，再靠對(duì)焦、像散和掃描參數(shù)去平衡整體效果。這樣即使樣品起伏很大，也能得到相對(duì)穩(wěn)定、可讀的圖像。