掃描電鏡成像時容易丟細節(jié)，通常不是分辨率“不夠”，而是成像條件把細節(jié)掩蓋或平均掉了，常見原因主要有這些。

首先是電子束條件不合適。束斑太大、工作距離偏大，實際可分辨尺寸已經(jīng)超過樣品細節(jié)尺度，即使放大再高，細節(jié)也出不來。束流過大時，電子束會把微小起伏平均掉，細節(jié)對比下降。

對焦和像散校正不到位也是高頻原因。輕微失焦在低倍下不明顯，但在高倍下會直接抹掉高頻細節(jié)。像散沒調(diào)好時，邊緣變軟，紋理看起來“糊”在一起。

掃描參數(shù)設置不當同樣會丟細節(jié)。掃描太快、沒有線平均或幀平均，噪聲大，真實細節(jié)被噪聲淹沒；但平均過多又會引入漂移模糊，把細節(jié)拉平。

樣品本身問題也很關鍵。非導電樣品充電，會導致亮度不穩(wěn)和局部拉花，細節(jié)被破壞。表面有污染、油膜或水汽，會顯著降低二次電子發(fā)射效率，細節(jié)對比下降。

加速電壓選擇不合理也會影響細節(jié)。電壓過高時，電子作用體積變大，信號來自更深層，表面細節(jié)被“稀釋”；電壓過低時，信噪比不足，細節(jié)又容易被噪聲吃掉。

機械和環(huán)境因素。樣品臺漂移、微振動或溫度不穩(wěn)定，在高倍下都會把細節(jié)“抹平”，看起來像分辨率下降。