掃描電鏡（SEM）在高倍觀察時(shí)特別容易失焦，這是一個(gè)非常典型的現(xiàn)象，原因主要有以下幾類：

景深小

SEM 高倍放大（如幾十萬(wàn)倍）時(shí)，景深通常只有幾百納米甚至幾十納米，樣品輕微上下偏移就會(huì)導(dǎo)致失焦。

樣品傾斜或不平整

樣品臺(tái)表面不完全平整，或者樣品放置有微傾角，高倍掃描時(shí)焦平面不一致，容易局部失焦。

熱漂移

電子束照射樣品會(huì)導(dǎo)致局部升溫，引起樣品膨脹或臺(tái)體輕微變形，焦點(diǎn)慢慢跑掉。高倍時(shí)表現(xiàn)尤其明顯。

機(jī)械漂移或振動(dòng)

SEM 樣品臺(tái)、支撐結(jié)構(gòu)或環(huán)境振動(dòng)會(huì)在微米/納米量級(jí)影響焦點(diǎn)，高倍下很容易看出圖像模糊。

電子光學(xué)系統(tǒng)限制

高放大倍率下，像差和電磁透鏡非理想性（透鏡色差、像差、電子束偏斜）會(huì)放大微小偏差，導(dǎo)致焦點(diǎn)敏感。

真空或電荷效應(yīng)

非導(dǎo)電樣品表面積累電荷，導(dǎo)致電子束偏轉(zhuǎn)，局部像面“漂移”，表現(xiàn)為模糊或失焦。